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超小型實驗用 CVD 裝置 FT-1200CVD

放在桌上即可立即進行實驗! 接上氣體系統與真空裝置後即可構成 CVD 裝置。 亦可作為小型真空爐使用!

爐型:氣氛爐爐型:真空爐溫度:1200度以下形狀:圓形管狀爐(立式)形狀:圓形管狀爐(水平式)

Features

特點

系統 配置參考照片

系統 配置參考照片

Models

型號

表格可左右滑動

項目FT-1200CVD
最高溫度1,200℃
常用溫度RT~1100℃
均熱部150mmL
溫度設定精度±1℃以內
使用爐心管O.D34φ×800mL高純度石英管
加熱器KanthalAF
加熱器驅動功能數位可控矽(位相角)
標準配備過溫警報付 / 波登真空計 / 溫度程式:PC 通訊對應9模式×9步驟 數位控制器

Options

選配

全型號共通選配

  • 氣體系統流量控制
  • 真空排氣系統(R.P幫浦他)
  • 排氣氣體處理裝置
  • CVD―trAP
  • 高性能電腦連接程式控制器16×16模式
  • 6CH 多輸入記錄器(PC 通訊對應)
  • MPCS 電腦通訊軟體

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